问卷调查法包括在线调查和纸笔调查，研究者通过问卷的方式获取互联网用户网络偏差行为的信息。使用问卷进行调查时，研究者的问卷内容各不相同。但是目前对网络偏差行为的问卷调查相对简单。例如，有研究者只泛泛地对互联网上让人讨厌的行为进行调查，另有研究者（Dianel，2005）也只是就“是否有过网络偏差行为”进行调查。因此，对网络偏差行为的问卷调查法，其内容比较简单、概括，没有对各类网络偏差行为进行深入的研究分析。
有研究者编制了关于网络色情行为的问卷，这是目前为止，比较正式的一个关于网络偏差行为的量表（O’Brien & Webster，2007）。奥伯里恩和韦伯斯特先对监狱中60名有过网络性侵犯行为的被试进行了调查，然后又以监狱中123名有过网络色情行为（向儿童发送一些淫秽信息）的侵犯者为被试，编制了互联网行为与态度问卷（Internet Behaviours and Attitudes Questionnaire，IBAQ）。互联网行为与态度问卷包括34个题目，分为两个维度：歪曲的观念（distorted thinking，16个题目，α=0.92）和自我管理（self-management：18个题目，α=0.89）。